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產(chǎn)品分類(lèi)產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號(hào)：PGM
更新時(shí)間：2024-07-09簡(jiǎn)要描述：ckd工藝氣體用減壓閥PGMCKD的工藝氣體減壓閥擁有行業(yè)先的密封性能、滯后性和重復(fù)性。通過(guò)供氣的高精度壓力/流量調(diào)整，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的工藝控制。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（前工序）
| 品牌 | 其他品牌 | 電動(dòng)機(jī)功率 | 135kW |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 69mm | 重量 | 85kg |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子,綜合 |
ckd工藝氣體用減壓閥PGM
ckd工藝氣體用減壓閥PGM
CKD的工藝氣體減壓閥擁有行業(yè)先的密封性能、滯后性和重復(fù)性。
通過(guò)供氣的高精度壓力/流量調(diào)整，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的工藝控制。
行業(yè)
半導(dǎo)體制造工序（前工序）
化學(xué)液體供給設(shè)備用元件【高密封性】
有助于工藝穩(wěn)定化
● 閥座部的優(yōu)化設(shè)計(jì)和超精密加工
● 最大限度抑制閥閉動(dòng)作時(shí)的2次側(cè)泄漏（流出）
【高微小流量控制性】
實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定且平穩(wěn)的動(dòng)作
● 閥座部形狀的優(yōu)化設(shè)計(jì)
● 微小流量下也可穩(wěn)定控制
【減少遲滯】
安全滿(mǎn)足目標(biāo)壓力
● 采用高品質(zhì)材料
● 超精密加工
1）電路/圖形設(shè)計(jì)
首先，要制作什么樣的半導(dǎo)體，也就是設(shè)計(jì)電路圖形。所需的電路圖案因半導(dǎo)體應(yīng)用而異，因此設(shè)計(jì)也會(huì)每次都發(fā)生變化。由于花樣復(fù)雜，似乎要進(jìn)行多次操作測(cè)試才能完成。
2) 制作光掩模
在半導(dǎo)體基板上制作用于轉(zhuǎn)印 1) 中設(shè)計(jì)的電路的掩模。這是使用電腦的案頭工作。
3) 切割硅錠
半導(dǎo)體的基礎(chǔ)是硅單晶。首先，通過(guò)在保持這種液態(tài)硅的同時(shí)提取單晶來(lái)生產(chǎn)硅錠。用線鋸將硅錠切成圓盤(pán)狀晶圓。硅錠是圓的，而半導(dǎo)體通常是方形的，所以一塊硅片能得到多少個(gè)方塊直接影響生產(chǎn)效率。到2022年一般有300mm以上，450mm以上。
4）硅片拋光
硅片表面凹凸不平，必須打磨光滑。為了磨平，我們
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