午夜在线观看视频免费 成人-午夜在线亚洲-午夜在线亚洲男人午在线-午夜在线影院-国产精品免费精品自在线观看-国产精品免费久久

技術文章/ article

您的位置:首頁  -  技術文章  -  日本進口orc 半導體光刻機的用途與特長是什么?

日本進口orc 半導體光刻機的用途與特長是什么?

更新時間:2023-08-23      瀏覽次數:844

日本進口orc 半導體光刻機的用途:

適用于大型板材生產的光刻機

日本進口orc 半導體光刻機特長:


  • 1.對應因熱處理產生高翹曲基板?再布線表面扭曲基板。

  • 2.采用最合適的方法使翹曲基板吸引搬送成為可能。

  • 3.多點計測自動調焦功能。

  • 4.對應板材伸縮的對位功能。

  • 5.分割全面對位、Shot by Shot(Die by Die)對位、視野縮放功能搭載。


  • 型式PPS-8500
    板材尺寸510 x 515mm(Max)
    解像力2.0 µmL/S(感光材厚2.0 µm)
    NA(開口數)0.16、0.1可變
    縮小比1:1
    Field尺寸52mm × 33mm
    光刻波長ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動)
    視野尺寸6inch
    重復對位精度≦1.0 µm(|Ave|+3σ)
    裝置尺寸/重量(W)3,000×(D)4,800×(H)2,500mm / 11,000kg




總結:對應板材生產功能,搭載豐富的生產功能,

  • 采用最合適的方法使翹曲基板吸引搬送成為可能


公司簡介  >  在線留言  >  聯系我們  >  
產品中心
儀器
推薦產品

CONTACT

EMAIL:jiuzhou_hgx@163.com
掃碼微信聯系
版權所有©2025 深圳九州工業品有限公司 All Rights Reserved   備案號:粵ICP備2023038974號   sitemap.xml技術支持:化工儀器網   管理登陸